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静电对洁净车间有哪几种危害?

作者:东莞科富莱空调净化有限公司   发布时间:

对我们来说,静态可能是一个小问题的意见,只是片刻的事情,但清洁车间的静态是关于产品合格率。让我们了解静电对清洁车间的危害。


1.静电库仑力
在静电库仑力的作用下,清洁车间吸收的灰尘和污垢会增加元件的泄漏或短路,从而损坏性能,大大降低产量和可靠性。如粉尘粒径>100微米,铝丝宽约100微米,氧化膜厚度在50微米,最容易废弃的产品。现在线直径较薄,氧化膜很薄,粒径小的灰尘颗粒会损坏元件,这种情况发生在清洗车间腐蚀清洗,光刻,点焊和包装等工序中。


2.静电放电ESD
(1)元件的绝缘氧化膜被破坏,引线在电线之间燃烧或熔化。如果机身带有10KV(100PF)的静电,触摸设备脚时会发生ESD,清洁车间的瞬时脉冲放电电流峰值可以达到20A(10~100s),更不用说高密度,细线直径,薄的SiO2薄膜Lsi,Vlsi,一般是IC,MOS会受到损害。
(2)造成洁净车间噪声和电磁波干扰
ESD导致电磁波前后峰相对尖锐,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几个MH2极有数百MH2的强大噪声,可能对元件造成损坏,设备和传感器无法正常工作,甚至造成清洁车间设备崩溃。


(3)触电
尽管在半导体,平板显示器和光电子器件等洁净室中已经做了很多工作,但洁净室中的静电问题仍然影响生产安全和产品产量,制造成本和效益,以及产品质量和可靠性。根据外国行业专家的估计,美国静电造成的年度产品损失平均为8-33%。有人估计,美国静电引起的电力行业每年损失价值10亿美元。在20世纪80年代,对日本废弃电子产品的分析占ESD的损失的1/3。中国的半导体,平板液晶显示器,光电子等起步较晚,但静电危害也时有发生,产量低。
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