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无尘净化车间中的温湿度控制要求

作者:东莞科富莱空调净化有限公司   发布时间:

无尘净化车间中的温湿度控制要求无尘净化车间是温湿度主要是根据产品需求的生产工艺来确定,而且在满足产品工艺要求的同时还要考虑到工作人员的舒适度。
随着无尘净化车间空气洁净等级的提升,各类工艺对于温湿度的要求也越来越严格。

总得来说,产品的加工精度越高,对于温湿度波动的要求也就越高,要求温湿度波动的范围也就越小。
例如在一些大规模集成电路的光刻曝光工艺中,直接只有一百微米的材料,如果环境温度与要求直接相差了一度,就会造成材料零点几微米的偏差,在这种高精度要求的无尘净化车间中就是非常严重的生产事故。
所以,这种工艺甚至是需求温差保持在正负零点五摄氏度之间的。

另外,一些高精度的产品对于湿度的要求也非常严格。
在一些电子元件的生产中,空气的潮湿会直接影响到芯片的质量。
而在大部分的硅类产品无尘净化车间湿度的范围被严格规定在了30-45%之间。
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