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洁净室净化等级标准要求

作者:东莞科富莱空调净化有限公司   发布时间:

洁净室净化等级标准要求

1.洁净室 clean room

空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留

粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2.空气洁净度等级

3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表 3.0.1 确定。

表 3.0.1 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3 空气洁净 )

度等级

(N)

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

1 10 2

2 100 24 10 4

3 1000 237 102 35 8

4 10000 2370 1020 352 83

5 100000 23700 10200 3520 832 29

6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

7 352000 83200 2930

8 3520000 832000 29300

9 35200000 8320000 293000

注:①每个采样点应至少采样 3 次。

②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

③根据工艺要求确定 1~2 种粒径。

④各种要求粒径 D 的粒子最大允许浓度 Cn 由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在 0.1~5μ

m 范围,包括 0.1μm 及 5μm。

2.08 ) 0.1 10 (

D

C N

n = × (3.0.1)

式中 Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3

)。Cn 是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数。

N—洁净度等级,数字不超出 9,洁净度等级整数之间的中间数可以按 0.1 为最

小允许递增量。

D—要求的粒径(μm)。

0.1—常数,其量纲为μm。

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