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洁净室的控制参数有哪些?

浏览: 发布日期:2020-09-18 10:57:28

洁净室的控制参数有哪些?在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、空气中的洁净粒子浓度;

2、气流的风速和单向性(对单向气流而言);

3、不同洁净度级别的洁净室之间和洁净室与普通房间之间的压差;

4、最终过滤器的整体性;

5、洁净室经污染后空气洁净度的自净时间;

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性;

8、洁净室表面的洁净度;

9、静电荷和离子发散;

10、空气中和表面的微生物污染;

11、空气中和工艺的分子污染。

 

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